ASCO電磁閥SCE238D010上海原廠代理

所有基于電容的真空儀表都以二選一的方式工作：通過保持系統的幾何形狀恒定但允許介電常數變化，或者通過具有恒定介電常數的可變幾何形狀。后者原理是電容壓力計壓力計的基礎。傳感器有兩個側面，一個是在大約1E－04 mTorr的非常低壓力下抽真空并密封的參考面，另一個是暴露在工藝過程中的測量面。側面由金屬膜片（通常為Inconel）和優質不銹鋼隔離，隨著過程壓力的變化，隔膜膜片會變形，從而改變儀器的幾何形狀，從而改變儀器的電容。電容式壓力計由于其寬泛的使用范圍（大約跨越四個數量級）、準確性、穩定性和線性度而成為真空冷凍干燥的儀器。另一個引人注目的功能是，電容壓力計可測量壓力（單位面積的力），且與所測的氣體成分無關。規程是使用加熱型電容壓力計，以避免儀表內部可能發生水蒸氣凝結（可能由于蒸汽滅菌）的可能性，并避免由于環境溫度變化而導致零漂移的可能性。介電常數變化，或者通過具有恒定介電常數的可變幾何形狀。后者原理是電容壓力計壓力計的基礎。傳感器有兩個側面，一個是在大約1E－04 mTorr的非常低壓力下抽真空并密封的參考面，另一個是暴露在工藝過程中的測量面。側面由金屬膜片（通常為Inconel）和優質不銹鋼隔離，隨著過程壓力的變化，隔膜膜片會變形，從而改變儀器的幾何形狀，從而改變儀器的電容。電容式壓力計由于其寬泛的使用范圍（大約跨越四個數量級）、準確性、穩定性和線性度而成為真空冷凍干燥

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